批量晶圆加工

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单晶圆加工,越来越受欢迎
半导体芯闻· 2025-07-08 10:23
如果您希望可以时常见面,欢迎标星收藏哦~ 来 源: 内 容 编译自 embedded 。 想象一下,一家能够实时思考、学习、调整和优化工艺流程的半导体代工厂。这家工厂不仅能检测 每一片晶圆,还能预测每一个缺陷,同时采取纠正措施,并为客户提供改进设计的见解。 这听起来像是科幻小说,但这正是下一代半导体制造的样子,进而创造出一种为人工智能时代而精 心调整的新型代工厂。 单晶圆加工是下一代代工厂愿景的关键。然而,在传统的直线型代工厂中运行单晶圆效率不高。必 须设计一种新型代工厂。这种代工厂能够更流畅地移动晶圆,并从每颗晶圆中学习,然后利用人工 智能模型预测错误并进行修正。为了从每颗晶圆中获取数据,未来的先进代工厂需要重新思考晶圆 在工厂内的移动方式,并调整布局,以便在同一工厂内同时管理多个客户项目和封装项目。 未来的铸造厂需要创新集成来实现制造优化。 半导体制造:前端处理 芯片制造的晶圆或前端工艺始于氧化层,然后使用光刻技术(包括抗蚀剂涂覆、曝光和显影)绘制 图案;蚀刻零件;添加离子;创建金属层和绝缘层;以及平滑表面。这些步骤重复多次,以构建复 杂的电路层。在前端处理(图 1)中,在同一晶圆上重复这些步骤,以构建构 ...