10月14日，珠海智桦半导体科技有限公司（以下简称"智桦半导体"）总部基地投产仪式在珠海科技产业集团运营的大 湾区智造产业园D区隆重举行。 智桦半导体的成功落户，是珠海市及高新区持续深耕集成电路产业、汇聚创新要素的成果。作为企业战略布局的核心 枢纽，珠海基地计划总投资2亿元，建成后预计年产1000台套半导体臭氧设备，达产后年产值可达10亿元，并为当地创 造300个优质就业岗位，成为区域经济高质量发展的新支点。 在芯片制造过程中，清洗环节约占全工序的30%，直接决定芯片良率，却长期是国产化短板。智桦半导体作为国内少 数掌握臭氧设备全链条核心技术的企业，通过十余年技术攻坚，成功打破国外垄断。其高浓度臭氧气体系统、高纯臭 氧水系统等核心产品，臭氧气体浓度最高达420g/m³，臭氧水浓度稳定在140ppm以上，可精准去除晶圆表面纳米级杂 质，已应用于台湾地区及东南亚多家先进晶圆厂。此外，企业创新研发的二氧化碳功能水系统，以环保高效特性为行 业提供全新解决方案。 据悉，今年6月，珠海科技产业集团通过旗下科创长青基金投资智桦半导体，并推动其入驻大湾区智造产业园，形 成"基金+园区+产业"的闭环赋能模式。 当前，半导体产业 ...