（文章来源：证券日报） 证券日报网讯 8月11日有投资者在互动平台向国林科技提问"从技术研究成果来看，半导体臭氧设备是 否更适合于EUV光刻配套？"公司回复"从技术角度来说，未来会是一种发展趋势，目前行业中依然处于 工艺研究与试验中"。 ...