光学关键尺寸量测机台

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技术+资本双轮驱动,匠岭科技引爆高端量测设备新引擎
半导体行业观察· 2025-05-13 01:12
在前道工艺控制中,关键薄膜量测 (Critical Thin Film Thickness)和光学关键尺寸量测(Optical Critical Dimension)具有极高的系统性技术门槛,不断迭代的工艺平台对量测机台性能提出更高 要求,高端量测机台的国产化支撑迫在眉睫。 匠岭科技长期布局半导体前道高端量测领域,通过持续的技术积累和扎实的客户实践, 核心产品 关键薄膜量测机台和光学关键尺寸量测机台,已能够支撑本土晶圆厂稀缺工艺的稳定量产,切实补 齐了本土先进逻辑与高端存储芯片制造上的供应链短板,显著提升了本土半导体产业链在关键量测 环节的自主可控能力。 近日,国产量测设备厂商匠岭科技连续完成B轮与B+轮战略融资,其中 B轮融资由石溪资本 领投,联合投资方为合肥产投国正与俱成资本;B+轮融资由启明创投领投,联合投资方为元 禾璞华、混沌投资、超越创投、临港数科基金、横琴瀚瑞、凯风甬翔,并由老股东冯源资本 多轮次追加投资。 新融资资金将主要用于新产品研发和规模化产能布局。 多重突破, 满足本土稀缺工艺对高端量测的紧迫需求 经过在高技术壁垒领域的长期深耕与持续创新突破,匠岭科技已成功实现多款高端量检测设备的国 产化 ...