在半导体产业攻坚"自主可控"的关键战场，江苏相城高新区(元和街道)正书写着"双高协同"的精彩篇章，辖区企业泓浒(苏州)半导体科技有限 公司携手河海大学苏州高等研究院攻克的"真空环境超洁净晶圆传送机械臂"项目，打破国外长期垄断，成为"高校智慧+高新区沃土"共育创新 成果的典范。 扬子晚报/紫牛新闻记者梅方滢 校对潘政 河海大学苏州高等研究院仿生机器人技术团队作为攻坚中的高校核心力量，展现了强劲科研实力。团队负责人徐林森教授带领团队，聚焦真空 环境下的超洁净晶圆传送技术难点，创新采用集成化驱动与磁流体密封技术，破解了真空洁净度控制难题；基于国产操作系统构建实时控制系 统，实现纳秒级响应精度；研发误差补偿算法，将重复定位精度控制在±0.05mm，水平振动降至0.2g，各项指标达国际先进水平。 为推动技术落地，相城高新区(元和街道)助力河海大学苏州高等研究院与泓浒共建研究生基地，让学生深度参与项目研发，将高校前沿技术直 接转化为企业工程方案，实现"实验室成果"到"生产线应用"的无缝衔接。这种"高新区搭台、企业出题、高校解题"的模式，催生出全国产化晶 圆真空传送平台，填补了国内真空镀膜工艺传送设备空白。 目前，该设备已 ...