关键词：半导体流量计、半导体流量计市场规模、半导体流量计行业现状、半导体流量计发展趋势 一、行业概述 内容概况：半导体流量计作为半导体制造过程中的关键部件，广泛应用于气体与液体流量的精确控制。 随着中国半导体产业的快速发展，芯片制造、封装测试等环节持续扩张，对高精度、高性能半导体流量 计的需求不断增加。2024年，中国半导体流量计行业市场规模为12.3亿元，同比增长9.82%。 相关上市企业：川仪股份（603100） 相关企业：广东奥迪威传感科技股份有限公司、北京志鸿恒拓科技有限公司、上海菱联自动化控制技术 有限公司、重庆川仪自动化股份有限公司、晶晨半导体（上海）股份有限公司、紫光国芯微电子股份有 限公司、中科寒武纪科技股份有限公司、海光信息技术股份有限公司、大洋电机新动力科技有限公司、 上海电驱动股份有限公司、北方华创科技集团股份有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、 拓荆科技股份有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司 半导体流量计是专为半导体制造设计的高精度流量测量与控制设备，用于监测和调节半导体工艺中液体 或气体的线性/非线性、质量/体积流量。其核心特点是高精度（±0.5%FS以上）、耐腐蚀、 ...

流量计在工业自动化和过程控制中占据着举足轻重的地位，它们能够实时且精确地监控流体（无论是液体还是气体）的流动状 态，这对于保障生产流程的稳定性和提升效率至关重要。在众多流量计类型中，半导体流量计凭借其卓越的高精度与多功能特 性，在高纯度半导体制造领域内获得了广泛应用。该类流量计专为半导体行业对流体极高纯净度和测量精度的需求而打造，不仅 能测量流体的质量流量率，还能累积计算出总质量，这对于原材料投入的精准控制和生产成本的精确核算具有重大意义。 半导体流量计（ MFM ）与质量流量控制器（ MFC ）有所区别。 MFC 通常内置阀门，具备控制流体流量的功能；而半导体流量 计专注于检测流体的质量流量，不提供流量控制功能。在气体应用场合，它能够监测气体的累积流量（即使用量），或者作为质 量流量控制器调节气体流量时的双重校验工具或便捷参考设备。对于液体流量测量，质量流量计还配备有控制信号，用以调控液 体控制阀及汽化器内部集成的流量控制阀。 半导体流量计，全球市场规模 根据 QYResearch 最新调研报告显示， 预计 2 03 1 年全球 半导体流量计 市场规模将达到 4.78 亿美元 ，未来几年年复合增长率 CAG ...