公众号记得加星标⭐️，第一时间看推送不会错过。 过去五年，全球半导体制造几乎等同于一场光刻机的地缘政治。ASML的EUV光刻系统成为先进制程 的唯一通行证，任何想进入 5nm 以下节点的公司，都必须经由这台价值超过 3 亿美元、由 45 万个 零件组成的巨兽。 从苹果到台积电，从三星到英特尔，整个行业的创新速度被EUV产能和供应节奏间接锁定。 而另一边， 非EUV 领域——电子束直写（E-Beam Lithography）、 纳米压印（NIL ）、掩模直写 （ML2）——曾多次被寄予"平替"希望，却始终未能进入量产体系。它们像漂浮在摩尔定律边缘 的"幽灵技术"，时而被提起，又悄然沉寂。 然而，AI的爆发正悄然改变这一切。一台EUV光刻机，不可能为每一家AI公司开启一条产线。在先 进封装、异构集成、Chiplet、SiP等多工艺、多材料混合的环境中，光学光刻难以覆盖全部需求层 级。在这种需求转折点上，制造业开始寻找新的可能。那些曾被遗忘的"非EUV技术"正在以新的形式 回归。 6.5 万束电子光束光刻，瞄准AI芯片 SecureFoundry成立于2016年，总部位于沃斯堡，是一家兼顾国家安全与商业需求的半导体 ...