明场纳米图形晶圆缺陷检测装备TB2000

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【太平洋科技-每日观点&资讯】(2025-03-27)
远峰电子· 2025-03-26 11:42
行情速递 海外新闻 ① 半导纵横,当地时间3月26日/美国商务部表示增加12个实体(其中 11家来自中国,1家来自中国台湾)/这些实体参与开发先进的人工智 能/超级计算机和高性能人工智能芯片/ ① 主 板 领 涨 , 三 维 通 信 (+10.03%)/ 蓝 黛 科 技 (+10.03%)/ 晨 丰 科 技 (+10.02%)/ 博 通 集 成 (+10.01%)/信雅达(+9.99%)/ ②创业板领涨, 东土科技(+10.80%)/宏景科技(+10.63%)/鼎捷数智(+6.90%)/ ③科创板领涨, 泰凌微 (+20.00%)/福立旺(+7.70%)/中科蓝讯(+7.68%)/ ④活跃子行业, SW其他通信设备(+2.31%)/SW营销代理(+2.01%)/ 国内新闻 ① 艾邦VR产业资讯,在博鳌亚洲论坛/vivo Vision首次亮相/是一款MR混合 现实头显设备/机身肉眼可见的就有6颗摄像头/能够提供更强的现实透视效 果/据悉/vivo Vision的原型机将在2025年中期正式亮相/ ② 半导体行业观察,天准科技宣布/旗下矽行半导体公司研发的明场纳米图 形晶圆缺陷检测装备TB2000已正式通过厂内验 ...
突破14nm工艺检测壁垒:天准科技TB2000明场纳米图形晶圆缺陷检测装备开启国产缺陷检测新纪元
半导体行业观察· 2025-03-26 01:09
3月26日,苏州天准科技股份有限公司(股票代码:688003.SH)宣布,旗下矽行半导体公司研发的明场纳米图形晶圆缺陷检测装备TB2000 已正式通过厂内验证,将于SEMICON 2025展会天准展台(T0-117)现场正式发布。 这标志着公司半导体检测装备已具备14nm及以下先进制程的规模化量产检测能力。这是继TB1500突破40nm节点后,天准在高端检测装备国产化 进程中的又一里程碑。 核心技术自主研发 TB2000采用全自主研发的高功率宽光谱激光激发等离子体光源系统、深紫外大通量高像质成像系统,配合高行频TDI相机、超精密高速运动平台, 同时结合AI图像处理算法和Design CA,有效提升缺陷检测灵敏度和检测速度。 TB2000的发布,使天准成为全球少数具备14nm及以下技术节点明场检测装备交付能力的厂商,逐步实现先进工艺中缺陷检测装备的国产替代。 梯度化矩阵实现全节点覆盖 当前天准科技的产品矩阵已完成明场缺陷检测装备全制程覆盖,TB1000/TB1100(65-90nm)、TB1500(40nm)及TB2000(14nm)构建起完整 的工艺节点适配体系,全面满足逻辑、存储等不同工艺客户产线上的明场缺 ...