导读： 近日，中国科学院微电子研究所发布多批政府采购意向，仪器信息网特对其中的仪器设备品目进行梳理，统计出10项仪器设备 采购意向，预算总额达1.19亿元。 特别提示 微信机制调整，点击顶部"仪器信息网" → 右上方"…" → 设为 ★ 星标，否则很可能无法看到我们的推送。 近日， 中国科学院微电子研究所发布 1 0 项仪器设备采购意向，预算总额达 1 . 1 9 亿 元，涉及8吋化学纯气态高选择性 各向同性刻蚀设备、三维集成封装结构函数分析仪 、关键尺寸量测设备、高精度扫描电子显微镜 等，预计采购时间为 2 0 2 5 年 6~11 月。 部分采购仪器介绍： 中国科学院微电子研究所 2 0 2 5 年 6 ~ 11 月仪器设备采购 意向汇总表 影像型套刻偏差量测仪 影像型套刻偏差量测仪（Ima g i n g -Ba s e d Ov e rl a y Me a s u r eme n t To o l）是半导体制造工艺中的关键检测设备，用于高 精度测量光刻层与前一层之间的对准误差（即"套刻偏差"，Ov e rl a y Err o r），确保多层微纳结构在芯片上精确对齐。 随着集成电路特征尺寸不断缩小（进 ...