焦深

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下一代光刻机,太难了!
半导体行业观察· 2025-06-05 01:37
如果您希望可以时常见面,欢迎标星收藏哦~ 来源:内容 编译自 semiwi 。 在高数值孔径 EUV 光刻系统中,数值孔径 (NA) 从 0.33 扩展到 0.55。这一变化被宣传为可以避 免在 0.33 NA EUV 系统上进行多重图案化。直到最近才有具体的例子提供。事实上,在 DUV 双 重图案化已经足够的情况下,EUV 已经实现了双重图案化。 数值孔径的增加允许使用更多衍射级数或更宽的空间频率范围进行成像。对于同一幅图像,拥有更 多衍射级数可以产生更明亮、更窄的峰值,如图1的示例所示。 图 1. 对于相同的四分之一节距输入线图案,四个衍射级比两个衍射级产生更明亮、更窄的峰值。 NILS 因峰值更尖锐而得到改善。 峰值越尖锐,意味着归一化图像对数斜率 (NILS) 越好,因此光子吸收中散粒噪声的随机效应不会 那么严重。因此,与 0.55 NA 相比,0.33 NA 的直接打印图像更容易出现质量下降。 为了将散粒噪声保持在足够低的水平,以保证单次0.33 NA曝光,剂量必须增加到一定程度,使吞 吐量或光刻胶损失成为不利因素,例如> 100 mJ/cm 2。另一方面,如果将0.33 NA图案分成两个 单独曝光 ...
中指物业研究:从扩规模转为增绩效 物业管理行业逐步进入存量市场
智通财经网· 2025-04-29 08:39
智通财经APP获悉,中指物业研究称,在房地产市场下行的大背景下,物业管理行业逐步转入存量市场竞争。物业服务百强企业管 理面积增速进一步下降,截至2024年底,百强企业管理面积均值为6946.30万平方米,同比增长2.18%,增速较上年下降4.03个百分 点。在此背景下,物业企业首先聚焦对核心区域和重点城市的深度布局。越来越多的企业逐步收缩核心城市数量,明确制定单个城 市甚至更小范围内的规模目标,以集中资源持续进行区域渗透。此外,还专注对特定业态和赛道的聚焦深耕。如高端办公及商务服 务、专业智慧的医院服务等。 01 管理面积同比增长2.18%,由"拼面积"转为"拼效益" 图:2021-2024年百强企业管理面积、合约面积均值及变化情况 物业研究:https://u.fang.com/yt994g/ 截至2024年底,百强企业管理面积均值为6946.30万平方米,同比增长2.18%,增速较上年下降4.03个百分点;合约面积均值为 8847.83万平方米,同比增长1.01%,增速较上年下降1.15个百分点。自2021年以来,百强企业管理面积增速持续下降。从行业整体 看,房地产市场下行导致增量空间持续收缩,新房交付量 ...