"宁波膜智信息科技有限公司"为势银（TrendBank）唯一工商注册实体及收款账户 势银研究： 势银产业研究服务 势银咨询： 势银咨询顾问服务 重要会议 ： 7月9日-10日，2025势银（第五届）光刻产业大会（安徽合肥） 点此报名 添加文末微信，加 光刻胶 群 2025势银（第五届）光刻产业大会 将于 7月9日-10日 在 合肥新站利港喜来登酒店 正式 举行 。 中科芯、芯东来、鼎龙、 波米科技、星泰克、永光化学、润晶科技、复旦大学、甬江实验室、凯诺中星、天璇新材料、南开大学、上海市计量技术研 究院、集萃光敏电子材料研究所、 张江实验室、 久日新材、 芯碁微 、奥格、宇瑞化学、安捷伦、中泰氢能、创腾、势银（TrendBank） 等24 家产学 研单位 确认参会并发表演讲。 会议基本信息 | 会议名称： | 2025势银（第五届）光刻产业大会 | | --- | --- | | 主办单位： | 势银（TrendBank） | | 协办单位 | ：深圳市半导体与集成电路产业联盟 | | 承办单位： | 势银芯链 | | 会议时间： | 2025年7月9日-10日 | | 会议地点： | 安徽·合肥 | | 会议 ...

近日，一些媒体报道了英国部署电子束光刻机相关的新闻，并号称打破 ASML的EUV技术垄断。部分 报道甚至号称这是全球第二台电子束光刻机，能绕过ASML。实际上当前没有任何信息表面该电子束曝 光机可以用于5nm制程的芯片量产的光刻环节。在这些媒体的报道中，英国似乎已经拳打ASML，脚踢 EUV了。 那事实真的如此吗？实际情况到底如何呢？ 01英国部署全球第二台200kV电子束光刻设备 实际上，英国南安普敦大学宣布的是，成功开设了日本以外首个分辨率达5纳米以下的尖端电子束光刻 (EBL)中心，可以制造下一代半导体芯片。这也是全球第二个，欧洲首个此类电子束光刻中心。 据介绍，该电子束光刻中心采用了日本JEOL的加速电压直写电子束光刻(EBL)系统，这也是全球第二台 200kV系统（JEOL JBX-8100 G3）（第一台在日本），其可以在200毫米晶圆上实现低于5纳米级精细 结构的分辨率处理。这可以在厚至10微米的光刻胶中实现，且侧壁几乎垂直，可用于开发电子和光子学 领域研究芯片中的新结构。JEOL的第二代EBL设备——100kV JEOL JBX-A9 将计划用于支持更大批量 的300毫米晶圆。 目前JEOL的 ...

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