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背面供电网络(BPDN)
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背面供电,太难了
半导体行业观察· 2026-02-24 01:23
公众号记得加星标⭐️,第一时间看推送不会错过。 背面供电网络(BPDN)直接从晶圆下方向前沿晶体管供电,这种架构变革能够提升处理器性能、大 幅降低功率损耗并提高电源效率。但BPDN也需要许多新的制造策略,例如去除大部分硅晶圆、将纳 米硅通孔(nanoTSV)与晶体管源漏极精确对准,以及采用新的建模方法来降低将高温晶体管限制在 正面和背面互连堆叠之间所带来的热损耗。 尽管如此,领先的集成电路制造商仍在取得显著进展,尤其是在纳米片场效应晶体管(nanosheet FET)从鳍式场效应晶体管(FinFET)几乎同步过渡的情况下。英特尔最近已将其采用带状场效应 晶体管(RibbonFET)和PowerVia的18A工艺投入量产。三星作为早期领导者,于2022年在其3nm 工艺节点上采用了环栅(GAA)晶体管,并计划在其2nm工艺节点(SF2)上引入背面供电技术。台 积电表示将在其2nm工艺节点(N2)上首次推出GAA技术,随后在16Å工艺节点(A16)上推出其超 级电源轨(Super Power Rail)。 背面供电对于需要高功率和快速功率消耗变化的工作负载至关重要,例如 AI 加速器、游戏芯片和图 形处理器。 I ...