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高数值孔径(High NA)芯片制造设备
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揭秘4亿美金光刻机的制造工厂
半导体行业观察· 2025-05-23 01:21
如果您希望可以时常见面,欢迎标星收藏哦~ 来源:内容 编译自 CNBC 。 在荷兰一个巨型实验室里,严密的大门后,有一台机器正在改变微芯片的制造方式。ASML该公司 耗时近十年研发了高数值孔径(High NA)芯片。该芯片造价超过4亿美元,是世界上最先进、最 昂贵的芯片制造设备。 CNBC 于 4 月份前往荷兰参观了该实验室。在此之前,High NA 从未被拍摄过,即使是 ASML 自己的团队也是如此。 在实验室内,High NA 认证团队负责人 Assia Haddou 向 CNBC 独家近距离展示了 High NA 机 器,她称这些机器"比双层巴士还要大"。 该机器由四个模块组成,分别在康涅狄格州、加利福尼亚州、德国和荷兰制造,然后在荷兰费尔德 霍芬的实验室组装,进行测试和批准,然后再次拆卸运出。 Haddou表示,这需要七架部分装载的 波音飞机747 飞机,或者至少 25 辆卡车,才能将一套系统送到客户手中。 全球首个 High NA 商业化安装于英特尔,该公司将于 2024 年在俄勒冈州建造芯片制造厂(简称 fab)。迄今为止,只有五台这种巨型机器被交付使用。 目前,只有少数台湾半导体制造公司、三星和 ...