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零液体排放
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半导体制造,到底怎么用水?
半导体芯闻· 2025-08-25 10:24
如果您希望可以时常见面,欢迎标星收藏哦~ 来 源 :内容 编译自 semiengineering 。 水 —— 大量的水 —— 是先进芯片架构、光刻技术及后端封装的关键支撑。它为接触每片晶圆的 超纯水循环系统供能,为各工艺节点中温度更高的设备散热,还将废弃化学物质输送至处理设施。 看到 "晶圆厂每日消耗数百万加仑水" 的报道,人们自然会担忧,但从工程角度看,实际情况更为 复杂 ——"使用" 并不等同于 "消耗"。 从市政系统抽取的大部分水经处理后,会在厂内通过多个使用周期循环利用,之后再送回污水处理 厂或市政设施进行进一步处理。真正被 "消耗" 的部分,主要是通过冷却系统和洗涤系统蒸发、脱 离厂区的水量。正如《国际器件与系统路线图》(IRDS)所指出的:"半导体工厂平均每日用水量 达数百万加仑,而最大的单一损失途径是冷却塔。" FTD Solutions 首席执行官斯拉瓦・利布曼表示:"就大型新建项目而言,满负荷生产时的总需水 量可能相当于一座百万人口城市的用水量。但这并不意味着所有水都会流失 —— 大部分会在厂内 经过处理后重新利用,而主要的实际损失是由工厂高能耗导致的蒸发量。" 在北凤凰城等炎热干旱的流域 ...