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高数值孔径极紫外光刻(EUV)技术
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英特尔安装首台High NA EUV光刻机
半导体行业观察· 2025-12-16 01:22
公众号记得加星标⭐️,第一时间看推送不会错过。 在英特尔看来,半导体创新始终是一项团队合作,最持久的突破源于从研发到量产的深度生态系统协 作。英特尔晶圆代工为其在这一进程中扮演的领导角色而感到自豪,并已确立了其在业界的地位,成 为唯一一家拥有本土领先逻辑芯片研发和制造能力的美国公司。 今天,英特尔分享两个不同项目的里程碑,这两个项目分别展示了公司推动行业研究和创新、降低先 进设备概念风险以及加快为客户创造价值的不同方式。 自信扩展:首台 TWINSCAN EXE:5200B 高数值孔径 EUV 安装 随着前沿工艺节点特征尺寸的不断缩小,高数值孔径(High NA)极紫外(EUV)光刻技术正迅速崛 起,成为人工智能时代极具吸引力的光刻技术。ASML 和 Intel Foundry 已证明,目前 最先进的光 刻扫描仪在技术上可行,能够提供更高的精度和生产效率,从而使高数值孔径 EUV 技术在未来的大 规模生产中占据优势。 今天,英特尔激动地宣布,英特尔和ASML已成功完成TWINSCAN EXE:5200B的"验收测试"。 这 款高数值孔径(High NA)极紫外光刻机在保持第一代EXE : 5000高分辨率的同 ...