High-NA EUV

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1.4nm,再生变数!
半导体行业观察· 2025-07-05 04:07
公众号记得加星标⭐️,第一时间看推送不会错过。 在晶圆代工这片没有硝烟的战场上,先进制程的每一次迭代都牵动着全球科技界的神经。如今,这场 竞赛已然迈入1.4nm时代:高昂的研发成本与严苛的技术门槛正将摩尔定律推向真正的极限,尽管如 此,随着半导体产业上升至国家战略高度,价格已不再是唯一的考量。顺带一提,1.4nm也常写作14 A(埃,1 A = 0.1 nm),但3nm、2nm乃至1.4nm等节点名称,如今更多只是区分新旧工艺的"旗 号",与实际晶体管的物理尺寸早已脱钩。 作为1.4nm赛道的三大玩家,台积电、英特尔与三星堪称大型的"三国志",在性能与工艺的博弈中各 自布局。然而在良率、产能、客户需求多元化与经济投入等多重压力交织下,这场全球顶尖企业的技 术竞赛,正悄然出现分歧与变数。 三星1.4nm延期 原本雄心勃勃的三星电子,在6月1日的"SAFE Forum 2025"上正式宣布,其 1.4nm(14A)半导体 的量产目标将推迟至2029年 ,比此前规划足足晚了两年。原定今年第二季度动工的 1.4nm测试线建 设也已暂缓,投资计划推迟至今年年底或明年上半年。这不仅比竞争对手台积电的2028年目标晚了一 ...
台积电:没到万不得已,不用新一代光刻机
半导体芯闻· 2025-05-28 10:17
如果您希望可以时常见面,欢迎标星收藏哦~ 来源:内容来自中时新闻网 。 荷兰阿斯麦(ASML)全新机台却让台积电望之却步!英媒指出,尽管艾司摩尔最新一代的高数值 孔径(High-NA)极紫外光(EUV)微影设备性能强大,但因这款机台单价高达4亿美元(约新台 币120亿元),台积电高层表示,目前「找不到非用不可的理由」,因此暂时没有计划在A14及其 后续制程中导入。 路透27日报导,这款先进机台价格逼近4亿美元,几乎是晶圆厂现有最昂贵设备的两倍。目前,各 家芯片制造商正在仔细评估,这款设备在曝光速度以及解析度上面的提升,是否真的符合如此高昂 的价格。 台积电技术开发资深副总经理张晓强表示,即便不使用High-NA EUV设备,A14制程仍能实现显 著的技术升级。 「因此,我们的技术团队将持续专注于微缩(scaling)效益的开发,并致力于延 长现有Low-NA EUV(低数值孔径极紫外光)微影设备的使用寿命。」 张晓强坦言:「只要我们能持续找到替代方案,就没有必要采用这款昂贵的设备。」事实上,早在 去年,张晓强就曾公开表示,他对High-NA EUV技术抱持肯定态度,但对其价格感到却步。 相较之下,台积电竞争对 ...