电子束光刻机'羲之'

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西北工业大学研发抗冻机器人,可在-50°C环境下完成任务;全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”丨智能制造日报
创业邦· 2025-08-15 03:18
1. 【新款石墨薄膜问世,晶粒尺寸约为传统人造石墨的1万倍!概念股不足10只】据科技日报援引最 新一期《自然·通讯》杂志报道,韩国基础科学研究所开发出一种突破性方法,可制备出毫米级晶 粒、镜面般光滑的石墨薄膜,晶粒尺寸约为传统人造石墨的1万倍。力学测试结果显示,该石墨薄膜 的杨氏模量达到969吉帕斯卡,拉伸强度1.29吉帕斯卡,接近单晶石墨的理论极限,平面热导率高达 2034瓦/米·开尔文,超过铜的水平,电导率高达22500西门子/厘米,刷新了宏观人造石墨的性能纪 录。(新浪财经) 2.【西北工业大学研发抗冻机器人,可在-50°C环境下完成任务】据西北工业大学消息,西北工业大 学空天结构技术重点实验室张卫红院士团队与香港城市大学吕坚院士、香港理工大学王钻开教授合 作,开发出一种基于新型电活性聚合物的多功能机器人,有望满足复杂结构和极寒环境下的应用需 求。在极寒环境测试中,机器人可在-50°C环境下完成自主加热、巡检和冰层融化等任务。在航空发 动机叶片检测、狭缝探测和寒区作业等应用场景中优势显著。( 财联社 ) 3.【全国首台国产商业电子束光刻机在杭"出炉"】8月14日消息,全国首台国产商业电子束光刻 机"羲之 ...
全国首台国产商业电子束光刻机在杭州“出炉”
财联社· 2025-08-14 01:35
据杭州日报,近日,作为基地首批签约孵化项目之一, 全国首台国产商业电子束光刻机"羲之"已进入应用测试,其精度比肩国际主流设备,标志着 量子芯片研发从此有了"中国刻刀"。 在测试现场,浙大余杭量子研究院相关团队紧张忙碌着,一台模样酷似大型钢柜的机器正在做应用测试,电子 显示屏上不断闪烁着实时参数。"这不是普通的机器,而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的'纳米神笔'!"团队负责人告诉记者,依托省重点 实验室,这台研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机"羲之"已正式投入市场。 "羲之"取名自书法家王羲之,"只不过我们的'毛笔'是电子束,在芯片上刻写电路。"研发团队相关负责人介绍,这台设备专攻量子芯片、新型半导体 研发的核心环节,它通过高能电子束在硅基上"手写"电路,精度达到0.6nm,线宽8nm,可灵活修改设计无须掩膜版,如同用纳米级毛笔在芯片上精 准作画,特别适合芯片研发初期的反复调试。 ...