12英寸静电卡盘
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珂玛科技:公司先进陶瓷主要应用于晶圆制造(包括存储芯片)前道工艺设备
Zheng Quan Ri Bao Zhi Sheng· 2025-11-12 08:43
(编辑 王雪儿) 证券日报网讯 珂玛科技11月12日在互动平台回答投资者提问时表示,公司先进陶瓷主要应用于晶圆制 造(包括存储芯片)前道工艺设备,目前已进入刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散等多种设 备。截至目前,公司12英寸静电卡盘已完成验证并实现小规模量产,12寸多区加热静电卡盘已完成产品 开发,公司正积极推进其验证进程。 ...
珂玛科技(301611.SZ):12寸多区加热静电卡盘已完成产品开发
Ge Long Hui· 2025-11-12 07:06
格隆汇11月12日丨珂玛科技(301611.SZ)在投资者互动平台表示,公司先进陶瓷主要应用于晶圆制造 (包括存储芯片)前道工艺设备,目前已进入刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散等多种设 备。截至目前,公司12英寸静电卡盘已完成验证并实现小规模量产,12寸多区加热静电卡盘已完成产品 开发,公司正积极推进其验证进程。 ...
珂玛科技:12英寸静电卡盘已完成验证并实现小规模量产
Di Yi Cai Jing· 2025-11-12 04:19
(本文来自第一财经) 珂玛科技在互动平台表示,公司先进陶瓷主要应用于晶圆制造(包括存储芯片)前道工艺设备,目前已 进入刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散等多种设备。截至目前,公司12英寸静电卡盘已完成 验证并实现小规模量产,12寸多区加热静电卡盘已完成产品开发,公司正积极推进其验证进程。 ...