在万物互联的时代浪潮中，传感器作为物联网、工业互联网、大数据与人工智能等前沿技术 的核心元器件，正成为推动产业智能化升级的关键基石。而微机电系统（英文：Micro-Electro- Mechanical System，以下简称 "MEMS" ）得益于 小体积、高稳定、高精度、低成本 等优势， 随着国家重大装备性能和人民生活质量提升的双重需求，在传感器应用领域愈发重要。 MEMS 对MEMS的探索可起源于20世纪50年代，一直以来， 生产制造是MEMS产业链的最关键环 节 。MEMS源于集成电路的工艺基础，线宽以90nm-0.35mm为主，虽然不像半导体先进制程达 到28nm以下，但MEMS元器件结构相对复杂，除了延用集成电路的成熟工艺以外还需引入特殊工 艺。MEMS传感器芯片本质上是在硅片上制造极微小化机械系统和集成电路的集合体，加工工艺 具有明显的非标准化和定制化特征， 制造的工艺水平基本上决定了MEMS产品的基准性能 ，并 且对供应链体系支撑有较高的要求，从特定角度来说，MEMS工艺要求、MEMS定制化设备需求 比集成电路要更高，因而MEMS晶圆制造决定了MEMS的产业化上限。 24000㎡微纳制造与传感 ...