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中微公司董事长尹志尧:希望五到十年,覆盖60%以上的半导体高端设备
Mei Ri Jing Ji Xin Wen· 2025-05-28 08:08
每经记者|朱成祥 每经编辑|杨夏 根据2024年年报,中微公司LPCVD实现首台销售,全年设备销售额约1.56亿元。对于中微公司LPCVD与国内头部设备厂商的差异,尹志尧告诉《每日经济 新闻》记者:"我们做LPCVD之前,有不少厂商比我们做得早。但是我们做任何一个产品,绝对不会抄外国的设备。中微研发设备,一定会分析国际上最 大、最强的两三家厂商,分析它们每一个反应器的优点和缺点。中微会开发出差异化、具有自主知识产权的有竞争力的设备,做出自己独特的设计。" 据介绍,薄膜沉积设备分为LPCVD(低压化学气相沉积)、PECVD(等离子化学气相沉积)、ALD(原子层沉积)、PVD(物理气相沉积)、EPI(单晶 外延)、炉管CVD和镀铜等种类。 2022年,PECVD市场规模占总薄膜市场规模比例为32%,PVD、ALD、LPCVD、EPI、炉管CVD和镀铜占比分别为22%、14%、8%、8%、8%和5%。 5月27日,半导体设备龙头中微公司(688012.SH,股价170.93元,市值1068.31亿元)于上海临港召开了2024年度及2025年第一季度业绩说明会,并于会后 召开了媒体见面会。 《每日经济新闻》记者观察到 ...