半导体温控设备，也叫半导体专用温控设备（ Chiller ），主要用于半导体制造过程中精确控制反应室的温度。半导体专用温控设 备利用制冷循环和工艺冷却水的热交换原理通过对半导体工艺设备使用的循环液的温度、流量和压力进行高精密控制，以实现半导 体工艺制程的控温需求，是集成电路制造过程中不可或缺的关键设备。依据不同工艺制程要求控制给定温度的循环液流经半导体工 艺设备反应腔内的电极或其壁面，将热量带入半导体专用温控设备，半导体专用温控设备通过热交换器将热量传递给制冷剂，再通 过制冷剂将热量释放给工艺冷却水，从而实现对工艺制程的温度控制。 据 QYResearch 调研团队最新报告"全球半导体温控设备市场报告 2025-2031 "显示，预计 2031 年全球半导体温控设备市场规模将达 到 12.3 亿美元，未来几年年复合增长率 CAGR 为 5.9% 。 半导体温控设备 ，全球市场总体规模 如上图表 / 数据，摘自 QYResearch 半导体研究中心最新报告"全球 半导体温控设备 市场研究报告 2025-2031 " . 全球 半导体温控设备 市场前 25 强生产商排名及市场占有率（基于 2025 年调研数据；目 ...