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高数值孔径EUV技术
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下一代光刻机,台积电观望
半导体行业观察· 2025-04-29 01:11
如果您希望可以时常见面,欢迎标星收藏哦~ 来源:内容 编译自 wccftech ,谢谢 。 在半导体新元素的采用方面,台积电多年来一直是先驱,并经常引领潮流。但现在,该公司似乎将 放弃在其 A14 工艺中使用高数值孔径 EUV 光刻设备,而是采用更传统的 0.33 数值孔径 EUV 技 术。这一消息是在数值孔径技术研讨会上透露的,台积电高级副总裁Kevin Zhang在会上宣布了这 一进展。由此可以肯定地说,英特尔代工厂和几家 DRAM 制造商现在在"技术"上比台积电更具优 势。 Kevin 表示,台积电将不会使用High NA EUV光刻技术来对A14芯片进行图案化,该芯片的生产 计划于2028年开始。从2纳米到A14,我们不必使用High NA,但我们可以在处理步骤方面继续保 持类似的复杂性。他指出,每一代技术,我们都尽量减少掩模数量的增加。这对于提供经济高效的 解决方案至关重要。 台积电认为高数值孔径 (NA) 对 A14 工艺无关紧要的主要原因是,使用相关的光刻工具,这家台 湾巨头的成本可能会比传统的 EUV 方法高出 2.5 倍,这最终将使 A14 节点的生产成本大大提 高,这意味着其在消费产品中的 ...