TCB键合机

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HBM的“暗战”
是说芯语· 2025-05-19 00:35
申请入围"中国IC独角兽" 半导体高质量发展创新成果征集 2024年,HBM成为半导体产业最炙手可热的产品之一。 随着AI大模型和高性能计算的狂飙突进,英伟达等巨头对HBM的需求水涨船高,内存厂的HBM订单早 已售卖一空,尤其是SK海力士,其在HBM市场占有率高达70%,更是赚得盆满钵满。 然而,就在这股浪潮背后,名为"TCB(Thermal Compression Bonding)键合机"的设备,正在悄然决定 HBM产业链的上限,不论是SK海力士,还是美光三星,都在过去一年时间里加大了设备方面的投入, 也让更多设备厂商有机会吃上这波AI红利。 什么是TCB? 先来了解一下目前HBM芯片的键合技术。在传统的倒装芯片键合中,芯片被"翻转",以便其焊料凸块 (也称为 C4 凸块)与半导体基板上的接合焊盘对齐。整个组件被放置在回流炉中,并根据焊料材料均 匀加热至 200ºC-250ºC 左右。焊料凸块熔化,在接合和基板之间形成电气互连。 随着互连密度的增加和间距缩小到 50µm 以下,倒装芯片工艺面临一些挑战。由于整个芯片封装都放入 烤箱中,芯片和基板会因热量而以不同的速率膨胀(即不同的热膨胀系数,CTE),从而产 ...
HBM的“暗战”
半导体行业观察· 2025-05-18 03:33
如果您希望可以时常见面,欢迎标星收藏哦~ 2024年,HBM成为半导体产业最炙⼿可热的产品之⼀。 随着AI⼤模型和⾼性能计算的狂飙突进,英伟达等巨头对HBM的需求⽔涨船⾼,内存⼚的HBM订 单早已售卖⼀空,尤其是SK海⼒⼠,其在HBM市场占有率⾼达70%,更是赚得盆满钵满。 然⽽,就在这股浪潮背后,名为"TCB(Thermal Compression Bonding)键合机"的设备, 正在悄然决定HBM产业链的上限,不论是SK海⼒⼠,还是美光三星,都在过去⼀年时间⾥加⼤了 设备⽅⾯的投⼊,也让更多设备⼚商有机会吃上这波AI红利。 什么是TCB? 先来了解⼀下⽬前HBM芯⽚的键合技术。在传统的倒装芯⽚键合中,芯⽚被"翻转",以便其焊 料凸块(也称为 C 凸块)与半导体基板上的接合焊盘对⻬。整个组件被放置在回流炉中,并根据 焊料材料均匀加热⾄ ºC-ºC 左右。焊料凸块熔化,在接合和基板之间形成电⽓互连。 随着互连密度的增加和间距缩⼩到 µm 以下,倒装芯⽚⼯艺⾯临⼀些挑战。由于整个芯⽚封装 都放⼊烤箱中,芯⽚和基板会因热量⽽以不同的速率膨胀(即不同的热膨胀系数,CTE),从⽽产 ⽣变形,导致互连出现故障。然后, ...