国内半导体设备商加速平台化布局，零部件国产替代进程加快 证券研究报告 半导体设备&零部件行业2024年报&2025一季报总结： 业绩持续高增，看好自主可控趋势下国产替代加速 首席证券分析师：周尔双 执业证书编号：S0600515110002 zhouersh@dwzq.com.cn 13915521100 证券分析师：李文意 执业证书编号：S0600525080005 liwenyi@dwzq.com.cn 18867136249 2025年5月13日 请务必阅读正文之后的免责声明部分 2 ⚫ 收入端延续高速增长态势，盈利水平进一步提升。我们选取14家半导体设备行业重点标的【北方华创】【中 微公司】【拓荆科技】 【华海清科】【长川科技】【芯源微】【至纯科技】【华峰测控】【盛美上海】【万 业企业】【精测电子】【赛腾股份】【微导纳米】【中科飞测】和4家半导体零部件行业重点标的【英杰电气 】【汉钟精机】【新莱应材】【富创精密】。 1）收入端：2024&2025Q1十四家半导体设备企业合计实现营 业收入732.2/177.4亿元，同比+33/+37%；四家半导体零部件企业合计实现营业收入113.4/24.7亿元，同比 ...

行业报告:先进制造行业周报 2025年5月11日 中航证券有限公司 AVIC SECURITIES CO., LTD. 外骨骼机器人消费场景应用可期，美的人形机器人进厂"打工" 行业评级:增持 分析师：邹润芳 证券执业证书号：S0640521040001 分析师：闫智 证券执业证书号：S0640524070001 分析师：卢正羽 证券执业证书号：S0640521060001 中航证券研究所发布 证券研究报告 请务必阅读正文后的免责条款部分 股市有风险 入市需谨慎 中航代逃開造- -- 投资观点 ■ 重点推荐:北特科技、信捷电气、汉威科技、兆威机电、恒立液压、纽威股份、软通动力 ■ 重点跟踪行业——人形机器人： ■ 核心个假组合;北特科技、兆威机电、恒立液压、纽威股份、三花智控、双林股份、鸣志电器、五洲新春、莱斯信息、纠睿雷达、坎通动力、航锦 科技、华伍股份、华阳集团、万马科技、绿的谐波、埃斯顿 ■ 本周专题研究：近日人形机器人产业动态汇总：1） 5月1日，智元正式发布国内首款融合AI步态预测与力矩自适应技术的消费级外骨骼踏山AsBxo TK1000, 产品核心特点包括智能、舒适、安全, 主要应用于助老出行、运 ...

内容概要：半导体湿法设备超纯槽体是半导体湿法设备用于盛放晶圆片、化学清洗液、去离子水等物品 的容器，是半导体湿法设备的关键部件。近年来，随着科技的不断进步，国产半导体清洗设备不断精 进，半导体清洗设备的超纯槽体成本增加。2024年我国半导体清洗设备的超纯槽体成本约为21万元，较 2023年增长3.5万元。半导体湿法设备超纯槽体作为半导体湿法设备的"心脏"，市场规模逐渐增长。 2024年我国半导体湿法设备超纯槽体市场规模约为3.03亿元，较2023年增长0.22亿元。 相关企业：江苏沃凯氟、上海沃特华本半导体、苏州霓佳斯、苏州芯矽科技、浙江孚诺林、东岳集团、 内蒙三爱富、阿科玛、巨化股份、山东华安、常熟苏威、中化蓝天、日本株式会社、乳源东阳光氟、昊 华科技 上市企业：至纯科技[603690]、北方华创[002371]、盛美上海[688082]、芯源微[688037] 关键词：半导体湿法设备超纯槽体市场规模、半导体湿法设备超纯槽体市场竞争格局、半导体湿法设备 超纯槽体行业发展前景 一、半导体湿法设备超纯槽体行业定义及特性 半导体湿法设备超纯槽体是半导体湿法设备用于盛放晶圆片、化学清洗液、去离子水等物品的容器。半 ...

内容概要：半导体湿法设备是芯片制造中用于清洗、蚀刻、去胶等一系列工艺的核心装备，它是通过使 用化学溶液与半导体材料进行反应来实现特定的工艺目的。全球主流芯片的制造分为4个阶段：原料制 作、单晶生长和晶圆的制造、集成电路晶圆的生产、集成电路的封装。在目前主流的芯片制程中，湿法 清洗是主流的清洗技术路线，占芯片制造清洗步骤数量的90%以上。近年来，随着全球半导体行业的快 速发展，半导体湿法设备市场也呈现出强劲的增长势头。据统计，2024年，全球半导体清洗设备市场规 模约为794.07亿元，较2023年增加82.35亿元；中国半导体清洗设备市场规模为158.82亿元，较2023年增 加30.71亿元。预计2025年全球半导体清洗设备市场规模有望达到880亿元，中国半导体清洗设备市场规 模有望达到195亿元。 上市企业：至纯科技[603690]、北方华创[002371]、盛美上海[688082]、芯源微[688037] 相关企业：迪恩士SCREEN、东京电子TEL、泛林LAM与细美事SEMES、Lam Research、中芯国际、长 江存储、华虹集团、富乐德、江化微、上海新阳、芯矽科技、重庆华润、上海华虹、上海积塔、 ...

证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2025-049 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 关于股份回购进展公告 | 回购方案首次披露日 | 2024/10/29 | | --- | --- | | 回购方案实施期限 | 待董事会审议通过后 个月 12 | | 预计回购金额 | 8,000万元~16,000万元 | | 回购用途 | □减少注册资本 √用于员工持股计划或股权激励 | | | □用于转换公司可转债 □为维护公司价值及股东权益 | | 累计已回购股数 | 1,994,601股 | | 累计已回购股数占总股本比例 | 0.52% | | 累计已回购金额 | 4,999.42万元 | | 实际回购价格区间 | 24.20元/股~25.85元/股 | 一、回购股份的基本情况 上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称"公司"）于 2024 年 10 月 28 日召开第五届董事会第八次会议审议通过《关于以集中竞价交易方式回购股份 方案的议案》，同意公司使用兴业银行股份有限公司上海分行提供的专项贷款及自 有资金以集中竞价交易方式回购公司已发行的部分人民币普通股股票。回购的股 份将在未来适宜时机 ...

中证报中证网讯(王珞)4月28日晚间，至纯科技（603690）披露2024年年度报告。报告显示，公司2024 年营业总收入36.05亿元，同比增长14.40%；归属于上市公司股东的净利润2359.75万元。 在高端半导体设备和材料领域，至纯科技通过加大研发投入力度，已在多个关键产品线上取得技术突 破。2024年，公司研发投入达4.42亿元，较2017年的0.13亿元实现大幅跃升，过去五年公司累计研发投 入超过15亿元。高研发投入下，公司构建起覆盖湿法工艺全环节的四大技术平台，覆盖湿法几乎全部工 艺，并在部分机台环节保持了国内领先的验证及交付进度。公司自主研发的高纯特气设备、化学品设备 全年累计出货量突破3.6万台，单年出货量超1万台，其中88.46%服务于12英寸先进制程客户，成为国内 一线晶圆厂的核心供应商。 凭借行业客户的认可，2024年公司取得新增订单总额为55.77亿元，其中5年以上长期订单总额为1.17亿 元。在除去大宗气站、TGM、TCM等电子材料及专项服务的长交期订单的影响后，2024年新签订单与 2023年相比实现了17.88%的增长。2024年新增订单中来自集成电路行业的订单额占比达84.5 ...

转自：证券日报网 本报记者 孙文青 4月29日，国内半导体设备企业上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称"至纯科技"）在下 修2024年业绩预告后，正式披露了2024年年报及2025年一季报。财报显示，2024年，公司实现营业收入 36.05亿元，同比增长14.40%；归母净利润2359.75万元，同比下滑超九成。同时，公司归母扣非后净利 润同比由盈转亏。 归母净利润同比大幅下滑 财报显示，2024年，至纯科技新增订单中，来自集成电路行业的订单额占比达84.55%，主要为产 业的一线用户，包括中芯国际集成电路制造有限公司、上海华虹（集团）有限公司、长鑫科技集团股份 有限公司等。但报告期内，公司归母净利润同比下滑超九成，此外，早在年报披露前，公司下修了业绩 预告。 公告显示，经至纯科技与年审会计师深入沟通，基于谨慎性原则，新增单项计提信用减值准备，并 调高应收账款坏账准备率两个百分点，相应减少公司2024年度合并报表归属于母公司所有者净利润。 至纯科技在年报中解释称，公司归母净利润大幅下滑主要系研发费用增长、单项计提信用减值准备 以及非经常性损益大幅下降。财报显示，2024年，公司继续推行战略业务布局，加大 ...

4月28日晚间，至纯科技（603690）披露了2024年年度报告。年报显示，公司2024年营业收入36.05亿 元，同比增长14.40%。归属于上市公司股东净利润2359.75万元。年报还显示，2024年公司取得新增订 单总额为55.77亿元，其中5年以上长期订单总额为1.17亿元。 年报显示，2024年至纯科技研发投入达4.42亿元，较2017年的0.13亿元实现大幅提升，过去五年公司累 计研发投入超过15亿元。高研发投入下，公司构建起覆盖湿法工艺全环节的四大技术平台，覆盖湿法几 乎全部工艺，并在仍然被国际厂商垄断的部分机台环节保持了国内领先的验证及交付进度。公司自主研 发的高纯特气设备、化学品设备全年累计出货量突破3.6万台，单年出货量超1万台，其中88.46%服务于 12英寸先进制程客户，成为国内一线晶圆厂的核心供应商。 当前，至纯科技的创新图谱不断拓展，正向半导体全产业链延伸。公司践行LAB2FAB 战略，通过产业 基金构建的生态投资体系，已形成对半导体产业链的创新赋能网络，持续推动产学研深度融合。这 种"技术研发+产业协同"的双轮驱动模式，为企业打开了穿越产业周期的成长空间。 根据年报，至纯科技正筹 ...

众华会计师事务所（特殊普通合伙）首席合伙人为陆士敏先生，2024 年末 合伙人人数为 68 人，注册会计师共 359 人，其中签署过证券服务业务审计报告 的注册会计师超过 180 人。 （二）聘任会计师事务所履行的程序 公司于 2024 年 4 月 26 日、2024 年 6 月 24 日分别召开第五届董事会第二次 会议和 2023 年年度股东大会，审议通过了《关于续聘公司 2024 年度审计机构的 议案》，同意续聘众华会计师事务所（特殊普通合伙）为公司 2024 年度审计机构。 二、审计委员会对会计师事务所监督职责情况 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 2024 年度审计委员会对会计师事务所 履行监督职责情况报告 根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司治理准 则》《国有企业、上市公司选聘会计师事务所管理办法》《上海证券交易所上市公 司自律监管指引第 1 号——规范运作》和《公司章程》等规定和要求，董事会审 计委员会本着勤勉尽责的原则，恪尽职守，认真履职。现将董事会审计委员会对 会计师事务所 2024 年度履行监督职责的情况汇报如下： 一、2024 年年审会计师事务所基本情况 （一）会 ...