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光刻技术
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最新议程&第一批报名名单出炉! | 2025势银(第五届)光刻产业大会(PRIC 2025)
势银芯链· 2025-06-18 05:17
Core Viewpoint - The 2025 TrendBank (Fifth) Lithography Industry Conference will be held on July 9-10, 2025, in Hefei, focusing on advanced lithography technologies and the challenges faced by the domestic lithography materials industry [14][25]. Group 1: Conference Overview - The conference will feature over 20 speakers from the lithography industry, covering advanced lithography technologies, photoresists, wet electronic chemicals, masks, and lithography equipment [15]. - The event aims to promote deep integration of industry, academia, and research, enhancing communication and collaboration among domestic research institutions, universities, and enterprises [23][24]. Group 2: Industry Challenges - The domestic lithography industry faces significant challenges, including low self-sufficiency rates in high-end photoresists and reliance on imports for key materials and equipment [22]. - The high-precision manufacturing technology for masks is difficult, with major raw materials also being imported, which poses risks to supply stability [22]. Group 3: Conference Details - The conference will take place at the Sheraton Hefei New Station Hotel, with an expected attendance of around 300 participants [16]. - Registration fees are set at RMB 2600 if paid by June 30, and RMB 2800 thereafter, which includes conference materials, meals, and a gala dinner [18].
上海市计测院集成电路产业计量检测中心 主任 李春华确认演讲 | 2025势银(第五届)光刻产业大会(PRIC 2025)
势银芯链· 2025-06-17 03:31
势银研究: 势银产业研究服务 势银数据: 势银数据产品服务 势银咨询: 势银咨询顾问服务 重要会议: 7月9日-10日,2025势银(第五届)光刻产业大会(安徽合肥) 点此报名 添加文末微信,加 光刻胶 群 上海市计测院集成电路产业计量检测中心 主任 李春华 确认参加 2025势银(第五届)光刻产业大 会, 并作为嘉宾分享 " 光刻配套试剂等化学品检测与超净实验室运营(拟) " 的主题报告 。 "宁波膜智信息科技有限公司"为势银(TrendBank)唯一工商注册实体及收款账户 人帮眼 李喜华 上海市计量测试技术研究院 集成电路产业计量检测中心主 任兼上海市电子化学品计量检 测平台主管,高级工程师 演讲官题: 光刻配套试剂等化学品检测与 超净实验室运营(W) 2025势银(第五届)光刻产业大会 0 合肥新站利港喜来登酒店 ⊙ 2025年7月9日-10日 李春华, 高级工程师,国家一级注册计量师,现任上海市计测院集成电路产业计量检测 中心主任兼上海市电子化学品计量检测平台主管。担任全国化学标准化技术委员会化学 试剂分会委员,全国半导体设备与材料标准化技术委员会委员,至今已参与起草国家标 准10余项。从事检测分析1 ...
光掩膜的变化和挑战
半导体行业观察· 2025-06-17 01:34
以下是对话节选。 SE:非 EUV 节点(例如 193i 浸没式技术)仍在不断发展。哪些关键创新能够保持这项技术的可行 性并延长其使用寿命? 公众号记得加星标⭐️,第一时间看推送不会错过。 来源:内容 编译自 semiengineering 。 日 前 , 半 导 体 工 程 杂 志 (Semiconductor Engineering) 与 HJL Lithography 首 席 光 刻 师 Harry Levinson 、 D2S 首 席 执 行 官 Aki Fujimura 、 美 光 公 司 掩 模 技 术 高 级 总 监 Ezequiel Russell 以 及 Photronics 执行副总裁兼首席技术官 Christopher Progler 就掩模制造的现状和未来发展方向进行了 探讨。 Progler: 最大的创新在于曲线掩模版的使用——更复杂的掩模版形状,充分利用了当今刻写技术的 优势。借助多光束掩模刻写技术,现在可以在掩模版上制作出以前无法实现的复杂形状。这无疑是一 个 真 正 的 推 动 力 。 其 次 , 在 掩 模 设 计 流 程 中 更 广 泛 地 使 用 计 算 工 具 。 如 ...
中泰气体 总经理 黎佳荣确认演讲 | 2025势银(第五届)光刻产业大会(PRIC 2025)
势银芯链· 2025-06-16 07:01
"宁波膜智信息科技有限公司"为势银(TrendBank)唯一工商注册实体及收款账户 势银研究: 势银产业研究服务 势银数据: 势银数据产品服务 势银咨询: 势银咨询顾问服务 重要会议: 7月9日-10日,2025势银(第五届)光刻产业大会(安徽合肥) 点此报名 添加文末微信,加 光刻胶 群 杭州中泰氢能科技有限公司 总经理 黎佳荣 确认参加 2025势银(第五届)光刻产业大会, 并作为嘉 宾分享 "光刻气体应用与中国稀有气体产业发展" 的主题报告 。 PATR 泰复能科技有限公 演讲主题: 光刻气体应用与中国稀有气体 产业发展 2025势银(第五届)光刻产业大会 二维码报名 0 合肥新站利港喜来登酒店 ⊙ 2025年7月9日-10日 黎佳荣, 杭州中泰氢能科技有限公司总经理,杭州中泰深冷股份有限公司副总经理,浙 江大学能源与环境工程学院硕士,曾参与国家多部委(科技部、工信部和发改委)工业 气体行业发展咨询工作,主导中国完全自主技术的稀有精制装置和氢气装置的项目实 施,致力于实现电子特气和氢能装备的国产化应用。其曾任职于法国液化空气集团、林 德集团、鲁奇(LURGI)公司的高级技术产品及管理岗位。 杭州中泰氢能 ...
甬江实验室 研究员 张瓦利确认演讲 | 2025势银(第五届)光刻产业大会(PRIC 2025)
势银芯链· 2025-06-16 07:01
"宁波膜智信息科技有限公司"为势银(TrendBank)唯一工商注册实体及收款账户 势银研究: 势银产业研究服务 势银数据: 势银数据产品服务 作 张可利 角江实验室 信息材料与微纳器件制备平台 研究员 演讲主题: 厨合瘦合在异响集成先进封装 中的应用与挑战 2025势银(第五届)光刻产业大会 扫描_维码报名 0 合肥新站利港喜来登酒店 ⊙ 2025年7月9日-10日 势银咨询: 势银咨询顾问服务 重要会议: 7月9日-10日,2025势银(第五届)光刻产业大会(安徽合肥) 点此报名 添加文末微信,加 光刻胶 群 甬江实验室 研究员 张瓦利 确认参加 2025势银(第五届)光刻产业大会, 并作为嘉宾分享 "混合键 合在异构集成先进封装中的应用与挑战" 的主题报告 。 张瓦利,研究员,甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台。 甬江实验室 (新材料浙江省实验室)成立于2021年5月,由浙江省科技厅和宁波市政府 共建,具备独立法人资格,位于宁波甬江科创区核心区域,占地600亩,建筑面积89万 平方米。 甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台 (简称"微纳平台")聚焦下一代光电产业发展 需求,以"微纳光学"与"芯片异构集 ...
集萃光敏电子材料研究所 总经理 朱晓群确认演讲 | 2025势银(第五届)光刻产业大会(PRIC 2025)
势银芯链· 2025-06-13 08:03
不要求 "宁波膜智信息科技有限公司"为势银(TrendBank)唯一工商注册实体及收款账户 势银研究: 势银产业研究服务 势银数据: 势银数据产品服务 势银咨询: 势银咨询顾问服务 重要会议: 7月9日-10日,2025势银(第五届)光刻产业大会(安徽合肥) 点此报名 添加文末微信,加 光刻胶 群 江苏集萃光敏电子材料研究所有限公司 总经理 朱晓群 确认参加 2025势银(第五届)光刻产业大 会, 并作为嘉宾分享 " 半导体光敏聚合物研发及产业化检测技术挑战(拟) " 的主题报告 。 0 合肥新站利港喜来登酒店 ⊙ 2025年7月9日-10日 朱晓群, 博士,南洋理工大学留学,现为江苏集萃光敏电子材料研究所有限公司总经 理。专注于高分子结构设计、稳定合成技术、工艺及装备。在公司主导研发半导体、显 示、光伏领域用树脂,现有多款KrF树脂、光伏树脂等通过测试并批量供货。主持国家、 省部级、企业等研究项目30多项项目《平板显示光刻胶用光引发剂》鉴定为国际领先水 平,荣获2021年中国感光学会科技进步一等奖。发表SCI论文80余篇;申请国家发明专 利70多项;出版专著两部,合著一部,参与译著1部。任亚洲辐射固化协会秘 ...
光刻与刻蚀技术决定着集成电路精细化发展水平(光刻机篇)
势银芯链· 2025-06-13 08:03
"宁波膜智信息科技有限公司"为势银(TrendBank)唯一工商注册实体及收款账户 势银研究: 势银产业研究服务 势银数据: 势银数据产品服务 势银咨询: 势银咨询顾问服务 重要会议: 7月9日-10日,2025势银(第五届)光刻产业大会(安徽合肥) 点此报名 添加文末微信,加 光刻胶 群 在半导体芯片集成高密化和线路精细化上,光刻与刻蚀承担着重要的工艺角色,尤其是在半导体前 道制程中,光刻机与刻蚀机分辨率很大程度上决定了集成电路精细化发展水平。在这里我们重点阐 述光刻产业话题。 | 制程 | 晶圆尺寸 | 金属材料 | 光刻机类型 | | --- | --- | --- | --- | | 0.5µm | 200mm | Al | g-line:436nm | | 0.35µm | 200mm | Al | i-line:365nm | | 0.25µm | 200mm | Al | KrF:248nm(stepper) | | 0.18/0.15µm | 200mm | Al | KrF:248(stepper&scanner) | | 0.13µm | 200/300mm | Al/Cu | ArF: ...
南开大学材料科学与工程学院 讲席教授 罗锋确认演讲 | 2025势银(第五届)光刻产业大会(PRIC 2025)
势银芯链· 2025-06-12 09:35
"宁波膜智信息科技有限公司"为势银(TrendBank)唯一工商注册实体及收款账户 势银研究: 势银产业研究服务 势银数据: 势银数据产品服务 势银咨询: 势银咨询顾问服务 重要会议: 7月9日-10日,2025势银(第五届)光刻产业大会(安徽合肥) 点此报名 添加文末微信,加 光刻胶 群 南开大学材料科学与工程学院 讲席教授 罗锋 已确认参加 2025势银(第五届)光刻产业大会, 并作 为嘉宾分享 "低成本多场景应用潜力的纳米压印/电子束/DSA技术方向" 的主题报告 。 作 7 南开大学材料科学与工程学院 讲席教授 澳iliter 低成本鲁场景应用潜力的纳米 HIV 电子京 / DSA技术方向 2025势银(第五届)光刻产业大会 扫描二维码报名 0 合肥新站利港喜来登酒店 ⊙ 2025年7月9日-10日 罗锋, 现任南开大学材料科学与工程学院/电子信息与光学工程学院双聘讲席教授,先后 入选欧盟玛丽居里学者、西班牙杰出青年基金、西班牙 I3 杰出教授、第十五批国家重大 人才项目等。目前担任深圳综合粒子研究院科创委委员,上海光源用户委员会委员,中 国感光学会光刻材料与技术专业委员会委员。研究方向包括极紫外光刻 ...
话题升级,18家产学研单位确认演讲 | 2025势银(第五届)光刻产业大会(PRIC 2025)
势银芯链· 2025-06-12 09:35
"宁波膜智信息科技有限公司"为势银(TrendBank)唯一工商注册实体及收款账户 重要会议: 7月9日-10日,2025势银(第五届)光刻产业大会(安徽合肥) 点此报名 添加文末微信,加 光刻胶 群 2025势银(第五届)光刻产业大会 将于 7月9日-10日 在 合肥新站利港喜来登酒店 正式 举行 。 京东方、嘉庚实验室、波米科技、星泰克、永光化学、润晶科技、张江实验室、甬江实验室、矽磐 微、凯诺中星、天璇新材料、南开大学、上海市计量技术研究院、集萃光敏电子材料研究所、圣泉 集团、奥格流体、华睿芯材、 广州增城区政府 等18 家产学研单位 确认参会并发表演讲,以下是 演讲单位介绍: (排名不分先后) 1.京东方: 全球半导体显示产品龙头企业 2.嘉庚实验室 : 聚焦半导体芯片制造领域高端光刻介质材料及高端半导体清洗系列材料的开发 和产业应用 3.波米科技: 聚焦"光敏性聚酰亚胺和聚酰亚胺液晶取向剂"等半导体材料研发和产业化 4.星泰克: 专注光刻胶研发生产,提供多种高端光刻胶及配套试剂 5. 永光化学: 專注於色料化學品、特用化學品、醫藥化學品、電子化學品及奈米材料等產品之 生產及服務 6.张江实验 室 : ...
各类光刻技术在微纳加工领域的优劣势
势银芯链· 2025-06-06 07:22
制造纳米级元件的能力使得高性能设备的生产成为可能,并推动了许多行业的技术进步。 光刻技 术的进步通常围绕半导体研究和晶体管(可以改变电信号的微型元件)尺寸的不断减小展开,因此 越来越多的晶体管被塞入计算机芯片中,形成逻辑元件,以便在纳米级进行决策。最近,美国和欧 盟的支出凸显了持续进行晶体管研究的重要性。美国政府签署了一项2800亿美元的一揽子计划,即 《芯片与科学法案》,以刺激美国芯片业的发展;而欧盟则提议斥资500亿美元,到2023年将其芯 片产量翻一番。此外,台湾半导体制造公司决心通过开辟新的微芯片市场来跟上摩尔定律的步伐。 到2025年,该工厂将耗资330亿美元。然而,并非所有进步都仅仅集中在计算机处理能力上。例 如,在医疗保健行业,微型化已经带来了诸如使用腹腔镜摄像机进行微创手术等发展。用于即时诊 断的芯片实验室技术和改进的植入式设备。受益于这些进步的其他行业包括能源,通讯和感知。 光刻是一种能够在基板上形成结构图案的制造技术两种最常见的光刻技术是光刻(PL),它涉及 将光通过掩模施加到感光抗蚀剂上以生成结构和电子束光刻 (EBL),其中电子扫描覆盖有敏感抗蚀 剂的表面,电子束打开和关闭以在所需位置 ...