专利摘要显示，本发明属于半导体领域，具体地涉及一种背面沉积有非晶相碳膜的晶圆及其制备方法和 应用。本发明晶圆的背面沉积有非晶相碳膜。本发明可增加传统晶圆背面沉积薄膜的可选择性。SiN、 SiO及非晶相碳膜相比，相同膜厚条件下，非晶相碳膜应力和翘曲与SiN相近，可实现对翘曲较大的工 艺片或结构片的应力中和(随着膜厚的累积和工艺温度的提升，可满足更高应力和翘曲的需求)。非晶相 碳膜在高温下具有较好粘附力，可实现以上厚度的薄膜沉积。晶圆背面沉积的SiN、SiO薄膜需要通过 (磷酸或氢氟酸)湿法去除，而非晶相碳膜可通过与等离子体激发下氧离子反应原位去除，副产物主要为 二氧化碳。 天眼查资料显示，拓荆科技（上海）有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事科技推广和 应用服务业为主的企业。企业注册资本135253.79万人民币，实缴资本95253.78万人民币。通过天眼查大 数据分析，拓荆科技（上海）有限公司参与招投标项目19次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息 243条，此外企业还拥有行政许可11个。 金融界2025年3月29日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆科技（上海）有限公司申请一项名为"背面 沉积 ...

3D-IC和先进封装事业部总经理郭万里先生阐述了拓荆在键合和相关产品的布局，实现国产键合领域设备装机量及键 合相关工艺覆盖率第一。此次新品发布介绍了低应力熔融键合设备Dione 300F、芯片对晶圆混合键合设备Pleione、激光剥 离设备Lyra和键合套准精度量测设备Crux 300。 CVD事业部总经理宁建平则介绍了拓荆科技在CVD应用能力方面已得到市场及客户的充分肯定，目前的研发方向主要 集中在提升客户生产效率上。她指出，CVD事业部在2023—2024年出货10种新产品，同时推出高产能、高性价比的新平台 PF-300M，达成了提高厚膜产能，整合工艺和提升效率的目标。三位技术负责人的分享，凸显了拓荆科技半导体制造技术 延伸和扩展的硬核实力。 拓荆科技SEMICON China 2025新品发布会：三大产品系列 引领半导体制造创新突破 2025年3月26日，拓荆科技(688072)在SEMICON China 2025展会首日隆重召开主题为"拓芯章·见未来"的新品发布会， 集中发布ALD系列、3D-IC及先进封装系列、CVD系列新品，全面展现其在半导体薄膜沉积及先进封装领域的技术突破与 产业布局，吸引了行 ...

证券代码：688072 股票简称：拓荆科技 公告编号：2025-015 拓荆科技股份有限公司 关于公司2025年限制性股票激励计划 根据《上市公司股权激励管理办法》（以下简称"《管理办法》"）、《上 市公司信息披露管理办法》及相关内部保密制度的规定，公司对2025年限制性股 票激励计划（以下简称"激励计划"）采取了充分必要的保密措施，同时对本次 激励计划的内幕信息知情人进行了必要登记。 根据《管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《科创板上市公 司自律监管指南第4号——股权激励信息披露》等规范性文件的要求，公司对本 次激励计划内幕信息知情人在激励计划首次公开披露前6个月（2024年9月6日至 2025年3月5日，以下简称"自查期间"）买卖公司股票的情况进行自查，并由中 国证券登记结算有限责任公司上海分公司出具了查询证明，具体情况如下： 一、核查的范围与程序 1、核查对象为激励计划的内幕信息知情人。 2、激励计划的内幕信息知情人均填报了《内幕信息知情人登记表》。 内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告 本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈 述或者重大遗漏，并对其内容的真实性 ...

北京市中伦律师事务所 关于拓荆科技股份有限公司 2025 年第二次临时股东大会的 法律意见书 致：拓荆科技股份有限公司 根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》等相关法律、法 规和规范性文件及《拓荆科技股份有限公司章程》（以下简称"公司章程"）之 规定，北京市中伦律师事务所（以下简称"本所"）接受拓荆科技股份有限公司 （以下简称"公司"）的委托，指派本所律师列席了公司 2025 年第二次临时股 东大会（以下简称"本次股东大会"），对本次股东大会的相关事项进行了见证， 并在此基础上出具本法律意见书。 为出具本法律意见书，本所律师审查了公司提供的相关文件，该等文件包括 但不限于： 1. 现行有效的公司章程； 2. 公司于 2025 年 3 月 6 日刊登在上海证券交易所网站的公司董事会关于召 开本次股东大会的通知； 3. 公司本次股东大会股权登记日的股东名册、出席现场会议股东的到会登 记记录及凭证资料； 4. 公司本次股东大会的相关会议文件。 - 1 - 法律意见书 本法律意见书仅供公司本次股东大会之目的使用，本所律师同意将本法律意 见书随同公司本次股东大会决议及其他信息披露资料一并公告。 本所律师根 ...

证券代码：688072 证券简称：拓荆科技 公告编号：2025-014 一、 会议召开和出席情况 （一） 股东大会召开的时间：2025 年 3 月 21 日 （二） 股东大会召开的地点：辽宁省沈阳市浑南区水家 900 号拓荆科技股份有 限公司会议室 （三） 出席会议的普通股股东、特别表决权股东、恢复表决权的优先股股东及 其持有表决权数量的情况： 拓荆科技股份有限公司 2025 年第二次临时股东大会决议公告 本公司董事会及全体董事保证公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或 者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 重要内容提示： 本次会议是否有被否决议案：无 | 1、出席会议的股东和代理人人数 | 178 | | --- | --- | | 普通股股东人数 | 178 | | 2、出席会议的股东所持有的表决权数量 | 135,289,677 | | 普通股股东所持有表决权数量 | 135,289,677 | | 3、出席会议的股东所持有表决权数量占公司表决权数量的比 | 48.5847 | | 例（%） | | | 普通股股东所持有表决权数量占公司表决权数量的比例（%） | 48.58 ...

拓荆科技股份有限公司 2025年第二次临时股东大会会议资料 证券代码：688072 证券简称：拓荆科技 拓荆科技股份有限公司 2025 年第二次临时股东大会会议资料 2025 年 3 月 | 2025 年第二次临时股东大会会议须知 | 1 | | --- | --- | | 2025 年第二次临时股东大会会议议程 | 3 | | 年第二次临时股东大会会议议案 2025 | 5 | | 议案一：关于公司《2025 | 年限制性股票激励计划（草案）》及其摘要的议案 | | 5 | | | 议案二：关于公司《2025 年限制性股票激励计划实施考核管理办法》的议 | | | 案 6 | | | 议案三：关于提请公司股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案 | | | 7 | | 拓荆科技股份有限公司 2025年第二次临时股东大会会议资料 拓荆科技股份有限公司 2025 年第二次临时股东大会会议须知 为维护全体股东的合法权利，确保股东大会的正常秩序和议事效率，保证大 会的顺利进行，根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市 公司股东大会规则》以及《拓荆科技股份有限公司章程》《拓荆科技股份有限公 司股 ...

证券代码：688072 证券简称：拓荆科技 公告编号：2025-013 拓荆科技股份有限公司 监事会关于公司 2025 年限制性股票激励计划激励对象名单 的公示情况说明及核查意见 本公司监事会及全体监事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述 或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。 拓荆科技股份有限公司（以下简称"公司"）于 2025 年 3 月 4 日召开了第 二届董事会第十三次会议及第二届监事会第十二次会议，审议通过了《关于公司 <2025 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》等相关议案。根据《上 市公司股权激励管理办法》（以下简称"《管理办法》"）的相关规定，公司对 2025 年限制性股票激励计划拟激励对象名单在公司内部进行了公示，公司监事 会结合公示情况对拟激励对象进行了核查，相关公示情况及核查情况如下： 一、公示情况 1、公司于 2025 年 3 月 6 日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）上披 露了《2025 年限制性股票激励计划（草案）》（以下简称"《激励计划（草案）》"） 及其摘要、《2025 年限制性股票激励计划实施考核管理办法》《 ...

2025 年 3 月 6 日 | 出刊日期 | 前日收盘 | 评等 | | --- | --- | --- | | 2022-08-26 | 227.70 | 买进 | 产品组合 半导体设备 86.2% 配套材料及服务 13.8% 机构投资者占流通 A 股比例 基金 一般法人 股价相对大盘走势 C o m p a n y U p d a t e C h i n a R e s e a r c h D e p t . 拓荆科技-U (688072) BUY 买进 股权激励行权要求高，核心设备企业受益行业整合 结论与建议： 公司发布股权激励计划，将 70%的员授予 127 万股（占总股本 0.45%）股 票用于激励，同时行权目标较高，体现公司对于未来发展的信心。 | C0044@capital.com.tw | | | --- | --- | | 朱吉翔 目标价 | 230 元 | 公司基本资讯 | 产业别 | | 电子 | | --- | --- | --- | | A 股价(2025/3/5) | | 175.73 | | 上证指数(2025/3/5) | | 3341.96 | | 股价 12 个月高/低 ...

2025 年 3 月 6 日 | C0044@capital.com.tw | | | --- | --- | | 朱吉翔 目标价 | 230 元 | 公司基本资讯 | 产业别 | | 电子 | | --- | --- | --- | | A 股价(2025/3/5) | | 175.73 | | 上证指数(2025/3/5) | | 3341.96 | | 股价 12 个月高/低 | | 216.52/101.4 | | 总发行股数(百万) | | 279.73 | | A 股数(百万) | | 155.25 | | A 市值(亿元) | | 272.82 | | 主要股东 | | 国家集成电路 | | | | 产业投资基金 | | | | 股份有限公司 | | | | (19.77%) | | 每股净值(元) | | 19.12 | | 股价/账面净值 | | 9.19 | | | 一个月 三个月 | 一年 | | 股价涨跌(%) | 21.5 -4.4 | 24.1 | 近期评等 | 出刊日期 | 前日收盘 | 评等 | | --- | --- | --- | | 2022-08-26 | 227.70 ...

Core Viewpoint - The semiconductor sector is experiencing a significant upward trend, driven by rising demand for NAND storage in the smartphone and PC industries, alongside increasing prices for storage products starting from the second quarter [1] Industry Summary - The semiconductor sector saw notable stock price increases, with companies like Tuojing Technology rising over 10%, and others like Fuchuang Precision and Zhongke Feice increasing over 9% [1] - There is a growing expectation of price increases for storage products, particularly NAND, due to heightened demand from the smartphone and PC markets, as well as the upcoming consumer upgrade cycle [1] - The AI sector is witnessing exponential growth in demand for computing power and storage, driven by the emergence of large models such as the GPT series, which require substantial computational resources for training and operation [1] - The rapid expansion of AI applications is leading to increased requirements for storage systems, as the parameter sizes of models like GPT-3 and GPT-4 have surged from billions to hundreds of billions and even trillions, necessitating enhanced bandwidth and response times [1] - The overall growth of the AI industry is expected to positively impact storage demand and prices in the long term [1]